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다마신 공정에 있어서 구리욕 노화에 대한 가속화와 양극의 영향
Influence of the anode and the Accelerator on Copper Bath Aging in the Damascene Process

등록 2018.01.15 ⋅ 33회 인용

출처 Electrochemical Society, 152권 12호 2006년, 영어 13 쪽

분류 연구

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저자

P. Mocoteguy1) C. Gabrielli2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

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자료요약
카테고리 : | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.08.11
반도체 산업에서 트렌치와 비아의 수퍼필링을 위한 다마신 공정에 사용되는 구리도금욕의 노화를 특성화하기 위해 전기화학적 임피던스분광법순환전압전류법이 사용되었다. 구리 양극조성, 양극전류밀도, 가속기 특성 및 농도의 영향을 연구하였다.
  • 표점간거리와 신율의 관계, 인장강도와 신율에 있어서 전해조건과 전착층의 두께 영향등에 관하여 조사
  • 도금액에 현탁한 분말의 표면에 흡착한 + 이온과 ζ 전위와의 관계, 그리고 이 -이온과 ζ 전위가 공석에 미치는 영향의 두 부분으로 나누어서 무전해 복합도금의 반응 기구를...
  • 불용성 양극을 사용하는 황산아연욕에서 도금용액과 도금조건이 철 공석량 및 인산염 처리후 표면백색도에 미치는 영향에 대하여 정리하고 이를 바탕으로 흑색무늬 결함이 ...
  • 녹청 · verdigrisㆍgreen rust 금속인 구리 위에 생기는 녹색의 녹을 말하며, 대표적으로 [염기성황산구리](Ⅱ) 〔CuSO4·3Cu(OH)2〕 로 이루어 지며, 장식용도의 금속제품 표...
  • 전기도금 공정은 냉연코일을 소재로하여 아연및 아연계 합금을 전기적인 방법으로 도금하는 공정으로 입측 중앙 출측으로 구성되며 입출측은 대부분의 냉연설비와 마찬가지...