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고신뢰성 파인 마이크로비아의 형성

등록 2025.06.04 ⋅ 31회 인용

출처 표면기술Manufacturing of Highly Reliable Fine-Pitch Micro-via, 57권 11호 2024년, 영어 4 쪽

분류 연구

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高信頼性ファインマイクロビアの形成

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자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2025.06.04
DUV (Deep Ultraviolet Laser) 펄스 레이저 장치를 이용한 미세 비아 가공 기술과 니켈 첨가제 비함유 무전해 구리 도금욕에 의한 박막 도금 기술의 조합에 대해 검토했다.

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