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검색글 균일전착성 16건
ULSI 배선형성을 목적으로 한 에틸렌디아민 착화욕에서의 보이드프리 구리의 전석
electrodeposition of Void-free copper from ethylenediamine complex bath for ULSI metallization

등록 : 2008.09.04 ⋅ 24회 인용

출처 : 표면기술, 51권 11호 2000년, 일어 6 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.05.30
분극저항이 큰 에틸렌디아민 착화욕에서 구리의 전석에 관하여, 균일전착성 및 물성이 우수한 구리피막을 만드는 조건에 관하여 설명
  • 부식방지제 금속의 산처리에서 발생되는 소재의 부식을 방지하는 인히비터를 말한다. 일반적으로 도금 등의 금속의 산처리에서 주로 염산, 황산 등의 무기산과 구연산, 아세...
  • 징크 플레이크 기술은 특수 베이스 피막과 탑 피막으로 고내식성이 가능하다. 징크플레이크 피막은 패스너, 호스 클램프, 클립, 자동차 산업의 브레이크 구성 요소, 풍력 발...
  • 금 밎 금합금 전주도금 금 전주욕은 대부분 시안화욕, 아황산욕, 염화물 또는 이들의 기반으로 조제한다. 구연산염욕은 전주욕에는 그다지 사용하지 않는다. 도금욕 조성|1|...
  • pH 상승을 억제하는 DFR의 박리 및 영향을 최소로 하여, 양호한 금속 망간피막 패턴도금을 만드는 원리와, 도금욕조성과 도금조건에 관한 연구
  • 금박막상의 전석 팔라듐막의 전석에 따라 직접투과관찰과 전자회절에 의한 팔라듐-금 Pd-Au 합금막형성에 관한 검토