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검색글 Kosei ITO 1건
포름산계 과황산염계 조화액에 의한 구리의 에칭공정의 전기화학적 해석
Electrochemical Analysis of Copper Etching Process by Formic Acid Type, Persulfate Type Roughening Solution

등록 : 2019.11.11 ⋅ 13회 인용

출처 : 표면기술, 70권 5호 2019년, 일어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Kosei ITO1) Chihiro TAGA2) Sachio YOSHIHARA3) Naokatsu NOJIRO4) Shinji ISHIDO5) Yoshihiro KIKUCHI6)

기타 :

ギ酸系,過硫酸塩系粗化液による,銅のエッチング工程の電気化学的解析

자료 :

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분류 :
자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 표면세상 | 최종수정일 : 2021.01.30
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