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구리 다마신 전착과 첨가제
Copper damascene electrodeposition and additives

등록 2014.07.18 ⋅ 65회 인용

출처 Electroanalytical Chemistry, 59권 2003년, 영어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.11
폴리에틸렌 글리콜 (PEG) 및 야누스그린 B (JGB) 첨가제는 광택제이다. 주사 전자현미경 이미지는 직경이 약 30 nm 인 PEG 분자가 구리 매크로스텝의 가장자리에서 우선적으로 흡수하고 구리도금의 측면성장을 억제한다는 것을 나타낸다. 회전디스크전극 (RDE) 실험은 회전속도가 높을수록 PEG 및 JGB 첨가제를 사용하여...
  • 비 질산계 알루미늄 화학연마제로 유해가스의 발생이 없으며 액조성의 변동이 적어 균일한 반광택면을 만들수 있다. 공정자동화 생산이 가능하여 불량발생을 최소화할수 있...
  • 습식 도금용 첨가제/광택제 제조 원료약품 전문 원료 약품의 공급과 첨가제 조제와 관련된 자세한내용은 항시 문의하여 주십시요. 대창 C&T 전화 : (82) 031-493-4771 E-mai...
  • 도금 거칠기 방지는 아마도 도금용액을 여과하는 가장 중요한 이유일 것이다. 깨끗한 도금액을 사용하면 연소 가능성이 적고 커버력이 높아진다. 부유고형물 이외에도 작업...
  • 전자레인지의 마그네트론 부품인 실드 디스크에 전도성 및 세라믹과 접착성, 내식성을 만족시킬 수 있는 실드 디스크 상의 Ag-Cu공정계 합금의 도금방법에 관한 것으로서, ...
  • 수산화크롬 및 그외의 금속원소의 수산화물을 혼합함에 따라 단순한 소성실험을 하고, 슬러지중에 함유성분이 6가크롬 생성에 있어서 영향에 관하여 보다 기본적인 조사