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폴리비닐 피로리돈을 포함하는 구리도금 전해액 및 이를 이용한 반도체소자의 구리배선용 전기도금방법
Copper electroplating bath included polyvinylpyroridon and using for Semicontuctor

등록 2008.09.18 ⋅ 52회 인용

출처 한국특허, 2002-0366631, 한글 10 쪽

분류 특허

자료 웹 조사자료

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.12.05
구리염 수용액, 수용성 에톡실레이티드 베타 나프톨 화합물, XO3S (CH2)3 SS(CH2)3 SOX3 의 조성식으로 표시되는 디설파이드 또는 HS(CH2)3 SO3X 의 조성식으로 표시되는 수용성 메르캅토프로판설폰산염 (여기서, X는 나트륨, 칼륨 또는 수소이다) 중에서 선택된 하나의 화합물, 분자량 4600~10,000 인 수용성 [[폴리에...
  • 산화아연은 크롬산 수용액을 유기환원제로 부분 재흡입하여 얻은 크롬산크롬 복합체를 포함하는 수용액과 상호 작용한다. 생성된 생성물을 건조시키고 잔류고체를 안료로 사...
  • 니켈-텅스텐 합금 피막의 전기도금에 대한 안정화 자기장 (0~1 T) 의 효과를 연구했다. 서로 다른 방향 및 강도 자기장으로 전기도금된 니켈텅스텐합금도금의 전류효율,...
  • 전기도금 - 1. 구리 니켈 크롬도금, 아연 카드뮴 주석도금, 귀금속도금, 합금도금, 복합도금, 기능도금 화학도금 - 1, 구리도금, 니켈 코발트도금, 2. 합금 및 기타도금 CVD...
  • 유황함유 유기화합물은 합성흡착제 Amberlite XAD-7 에 흡착 제거되므로, 이화합물을 흡착한 XAD-7은 물에 재생됨을 알수 있다.
  • 염소이온 관리 ㆍ Chloride Ion 황산구리 도금의 염소 이온은 광택도금에서 적절한 농도를 유지 관리해야 하며, 적절치 못한 경우 양극 부동태 및 구름낀 도금의 원인이 되...