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MEMS용 Fe-Ni 합금 미세구조물의 조성에 미치는 전해조건의 영향
Effect of Electroforming COndition on the composition of Fe-NI alloy Micro-structure for MEMS

등록 : 2009.01.09 ⋅ 43회 인용

출처 : 대한금속재료학회지, 42권 9호 2004년, 한글 7 페이지

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.02.26
철-니켈 Fe-Ni 합금도금 공정을 MEMS 기술에 적용하기 위한 기초 연구로서, UV-LIGA 를 이용하여 다양한 형상과 조성을 가지는 Ni-Fe 합금 미세구조물을 제작하고, 전주도금시 도금액내의 금속이온 농도비, 전류밀도, 교반속도, pH, 온도, 펄스정류 등의 전해조건들이 합금 구조물의 특성을 지배하는 합금특성에 미치는 영향...

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