로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 Hiroshi KITAMURA 2건
ULSI 구리배선의 형성을 목적으로 한 에텔렌디아민 착화욕에서의 구리전석
Electrodeposition of copper from ethylenediamine complex bath for ULSI metallization

등록 2010.02.08 ⋅ 50회 인용

출처 표면기술, 50권 7호 1999년, 일어 5 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

자료

분류 ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.26
분극저항이 큰 에틸렌디아민 착화욕에서의 구리 전석에 관하여, 유기유황계 첨가제를 사용하지 않고, [[균일전척성] 및 물성이 우수한 구리판을 만드는 조건의 확립과, LSI 구리배선 형성의 적용 가능성을 검토

연관글

  1. 연구문헌자료.. 비 씨드형 유동층 과립화 공정에 의한 시뮬레이션된 무전해 구리도금 폐 수세수로 부터 구리회수에 대한 EDTA 및 CH2O의 효과
  2. 연구문헌자료.. 메탄설폰산욕에서 구리의 무전해 석출에 대한 녹색 복합화제의 효과
  3. 연구문헌자료.. 표면 거칠기와 도금속도를 기준으로 안정제 없는 무전해 NiB 석출의 최적화
  4. 연구문헌자료.. 이중 리간드 방법에 있어서 무전해 구리에 대한 PEG 6000의 효과
  5. 도금기술노트.. 에틸렌디아민
  6. 도금기술노트.. Q75
  7. 연구문헌자료.. FTIR ATR법에 의한 무전해 팔라듐-인 합금 도금욕중의 욕성분의 모니터링
  8. 연구문헌자료.. 안정제로 에틸렌디아민을 포함하는 용액으로부터 펄스 도금에 의해 동시 전착 전기도금된 금-주석 땜납 합금의 구조 및 조성
  9. 연구문헌자료.. 비암모니아 팔라듐 Palladium 도금 특성 연구
  10. 연구문헌자료.. 유기 부식억제를 사용한 3M 질산용액에 있어서 구리와 구리합금의 부식 억제제
  • 알루미늄 리소그래피 플레이트를 양극산화하는 수단으로 알루미늄을 처리하는 방법으로,이 방법은 다공성, 두께, 내마모성 및 화학적 비활성이 개선되었지만 오버코팅에 대...
  • 납, 스테인리스강 및 탄소 불용성 양극은 크롬 전기도금, 전기세정 및 전기연마의 특정 응용 분야에 사용 된다. 그러나 백금화 티타늄 및 치수 안정성 양극의 광범위한 사용...
  • 8 MTO의 안정적이고 균일한 속도. 최대 770 HK 100의 매우 높은 도금 경도 우수한 내마모성, 핀홀발생이 없음 천연 윤활성으로 우수한 이형성을 제공합니다.
  • 알루미늄 표면 처리에서 전통적인 크로메이트 패시션 용액을 대체 할 수있는 새로운 실레인 화합물을 개발하는 것이 목표. 방법 KH-560 및 A-151 은 복합화되었고, 자수수성...
  • 폐수의 재처리는 중금속이온의 농도가 일정수준 이상에서 계속 유지되어야 경제성을 갖는다. 도금후 피도금체에 묻어 나오는 세척액은 이러한 조건을 갖추고 있다.~