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치구의 현장적 개선사례 (1)
The IMproved Racks in the Plating Shops

등록 2008.08.08 ⋅ 44회 인용

출처 표면기술, 47권 5호 1996년, 일어 4 쪽

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자료요약
카테고리 : 설비관련 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2015.01.07
생산성에 기여하는 개량된 치구의 실시예로, 아연도금에서 기준으로 하여, 기타도금에도 적용가능
  • Nikal BP RTU electrolytic nickel produces matte to semi bright, low-porosity nickel deposits for wafer plating. Nikal BP is characterized by its ability to produ...
  • 고전류밀도 덴드라이트 형성을 감소시키고 산성 아연염으로부터 얻은된 아연피막의 고전류밀도 거칠기, 입자크기 및 배향을 제어하기 위한 고전류 밀도 전기아연 도금공정 ...
  • 하지 니켈도금이 있는 사전 세척된 알루미늄 합금 소재에 태양광 선택성 흑색 니켈-코발트 도금을 조사하였다. 공정 최적화는 피막의 광학 선택성에 대한 작동 변수의 영향...
  • 침지처리법 (Immersion processing) 은 유효성이 검증된 웨이퍼 세정방법 이지만 보다 엄격한 프로세스 허용오차가 요구됨에 따라 0.1 이하 급에 대응하기 위해 철저한 변신...
  • 종래 철-크롬 도금욕의 보고는 많으나 독성이 있는 3산화크롬을 주제로한 경우가 많고, 석출합금중의 철 함유량이 적은 0.1~10 % 정도로, 도금폐수에 의한 공해대책 및 철분...