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공업계에 있어서 에칭 기술의 조망
Recent development in etching technology

등록 2011.10.14 ⋅ 115회 인용

출처 실무표면기술, 26권 10호 1979년, 일어 4 쪽

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工業界におけるエッチング技術の概観

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.11.17
에칭기술은 그 목적에 따라 여러가지 처리조건과 방법이 이용되고 있다. 예로부터 에칭에 대하여, 포토에칭과 드라이에칭등의 기술이 급속히 발전되었으며, 이들 기술을 조망