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실리콘기판 1건
자료요약
카테고리 : 양극산화 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.12.15
알루미늄 Al 소재 대신 실리콘 Si 과 Sapphire 소재을 이용하여 이들 소재위에 AAO 를 형성시키는 공정에 대한 연구를 수행하였다. 공정변수가 형성되는 AAO 의 특성에 미치는 영향을 조사 분석하여 각각의 소재에 대하여 최적의 구조를 갖는 AAO 를 형성