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검색글 Tsugito YAMASHITA 1건
구리 전착막의 결정과 에칭 용액의 첨가제 종의 에칭 인자에 대한 영향
Effect of Crystal of Copper Electrodeposited Film and Additive Species of Etching Solution on Etch Factor

등록 : 2021.11.17 ⋅ 25회 인용

출처 : 표면기술, 71권 11호 2020년, 일어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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기타 :

銅電析皮膜の結晶組織とエッチング液の添加剤種による エッチファクターへ与える影響

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.05.28
전해동박의 결정과 식각액의 첨가종류가 식각거동에 미치는 영향을 조사하였다. 서브트랙티브 방법을 사용한 습식에칭 중 에칭인자를 개선하였다. 구리 전착막의 결정면은 전류밀도를 100 mA 에서 10 mA 로 변화시켰을 때 전해동박의 결정방위가 랜덤한 방향을 나타내며 결정자는 더 작아졌다. FeCl3 를 사용하여 식각인자 ...
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