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검색글 무전해구리 63건
초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
Electroless copper on refractory and noble metal substrates with an ultra-thin plasma-assisted atomic layer deposited palladium layer

등록 : 2024.06.15 ⋅ 8회 인용

출처 : Electrochimica Acta, 2005년, 영어 7 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Young-Soon Kim1) Hyung-Il Kim2) Joong-Hee Cho3) Hyung-Kee Seo4) M.A. Dara5) Hyung-Shik Shin6) Gregory A. Ten Eyck7) Toh-Ming Lub8) Jay J. Senkevich9)

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.06.15
무전해 Cu는 고급 통합 장치의 잠재적인 BEOL (back-end-of-the-line) 금속화를 위해 플라즈마 보조 원자층 증착 팔라듐 층을 갖춘 내화 금속, WandTaNX 및 Ir 귀금속 기판에 대해 조사하였다. 나트륨 및 칼륨이 없는 Cu 무전해욕은 킬레이트제인 에틸렌디아민 테트라아세트산(EDTA), 환원제인 글리옥실산, 계면활성제인 폴...
  • 6가크롬 이온 및 3가크롬 이온을 함유한 수용액에 음이온과 폴리에틸렌글리콜 그룹으로 구성된 비이온성 부분 또는 다음으로 구성된 그 룹을 갖는 비이온성-이온성 복합 계...
  • 산성 주석 전기도금에는 광택제로 알콕시 나프탈렌 카복스 알데하이드, 특정 유화제 및 시너지 효과가 있는 특정 카복실산, 아미드 및 에스테르가 포함되어 매우 밝은 전착...
  • 수십 나노미터의 두께변조를 갖는 크롬-니켈 Cr-Ni 다층은 30 ℃ 에서 Cr(iii) -Ni(ii) 욕에서 펄스전류 전기도금을 통해 준비하였다. Cr-Ni 다층은 대체 무정형 Cr 이 풍부...
  • MBT
    MBT· 2-Mercaptobenzothiazole CAS : 149-30-4 C7 H5 NS2 = 167.24 g/㏖ 성상 : 황색분말 용도 : [황산구리도금]용 광택ㆍ레벨링제 [M] 참고 [도금광택제] [구리도금] wiki ...
  • 전해은도금/무전해은도금 및 장점 및 단점에서 막힙니다. 은도금의 특성도 내용이 잘 생각 나지 않거나 말안되는 부분도 있고해서 부탁드립니다.