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팔라듐-나노입자/아크릴-폴리머 혼합의 사진제판에 대한 직접 무전해구리 석출
Direct Electroless Copper Deposition on A Photolithographic Pattern of Palladium-Nanoparticle/Acrylic-Polymer Hybrid

등록 : 2018.01.07 ⋅ 23회 인용

출처 : Electronics Packaging (JP), 4권 1호 2011년, 영어 4 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.06
팔라듐-나노 입자/아크릴-고분자 하이브리드 네거티브 패턴은 포토리소그래피에 의해 가용성 필름상에 형성된후 무전해도금에 의해 구리 패턴으로 변환되었다. 하이브리드의 네거티브 패턴은 아크릴레이트 모노머, 팔라듐염 및 광 라디칼 개시제를 함유한 레지스트 필름의 UV- 조사에 의해 형성되었다. 광화학적으로 생성된 ...