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마이크로머신으로서의 니켈전주기술의 응용
Application of Nickel Electro-Forming for Micromachining

등록 2010.02.16 ⋅ 48회 인용

출처 표면기술, 52권 11호 2001년, 일어 4 쪽

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.12.16
마이크로머신기술의 중심인 3차원마이크로구조체 제작기술이 여러가지로 개발되고 있으며, 특히 니켈전주를 이용한 3차원 마이크로구조체 제작기술에 관하여 소개
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  • 광학 및 전자현미경에 의해 관찰함으로써 피막의 물리적 화학적 방법에 의한 연구, 예를 들어 가스흡착 등온선 측정, 비중, 다공성 유전상수, 화학성분 분해생성물의 안정성...
  • 본 발명은 전기도금에 관한 것으로, 특히 도금 조건 및 전해질을 평가할 수 있는 배럴 도금 장치를 시뮬레이션하기 위한 전기도금 테스트 셀 및 방법에 관한 것이다.
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