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검색글 Hidemi Nawafune 39건
중성 무전해 구리도금에 의한 ULSI 구리배선의 형성
Fabrication of ultra-large scale intergrated by electroless neutral copper plating

등록 2008.08.10 ⋅ 52회 인용

출처 표면기술, 50권 4호 1999년, 일어 4 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2020.11.08
Vaskelis 법의 코발트(ii) 화합물을 환원제로한욕을 개량하여, 지금의 무전해도금욕과 다른 구성성분과 석출기구에 기초로한 욕에서, 실리콘웨이퍼상의 트렌치 코넥타 홀내에 구리배선을 형성하는 방법을 검토
  • 경질 크롬을 능가하는 뛰어난 기계적 및 마찰학적 특성, 균일한 표면 마감, 경쟁력 있는 내식성으로 무전해 니켈-붕소 도금은 40년 이상 다양한 산업 분야에서 사용되어 왔...
  • 마그네슘 합금은 1997년 초두에 노트북 PC를 시작으로 모바일 기기외장에 채용되어, 표면처리를 주로 도장하지로서 화성처리를 하였다. 그러나 초경량성, 자원의 풍부, 리사...
  • 니켈-철 합금박막의 성분을 연속적으로 변화시키는 방법을 조사하였다.일정한 전해액에 가해지는 도금전류와 전압의 변화에 따라 박막내 니켈과 철의 상대적 함유량의 조절...
  • 약전해 처리 (공전해) ^ Electrolytic purification 일반적인 도금액 중 미량 중금속 이온은 도금 금속보다 분해전압이 낮은 경우, 낮은 전압과 전류로 전해처리 하면 제거...
  • 흑피 또는 스케일이라고 하며 처리 온도에 따라 구성이 다르다. 철 및 산소 상태 다이어그램에 따르면 575 ℃ 이상에서 생성된 스케일은 철 소재에 가까운 쪽부터 버...