로그인

검색

검색글 MEMS 4건
List of Articles
Pstation Data Box · 2019 ⋅ S.I.HONG ⋅
습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...

나노 결정질 NiCoS 합금 박막은 전착 방법에 의해 황의 농도가 다른 구리 소재에 전착하였다. 전기도금된 NiCoS 박막은 구리 소재에 강력하게 밀착되었다. NiCoS 박막의 SEM 사진은 박막 전착물이 크랙이 없고 균일하며 미세한 입자 크기로 광택 표면을 보여주었다. 전착된 모든 NiCoS 박막은 나노 스케...

니켈/합금 · ChemTech Research · 9권 4호 2016년 · T. Baskar · K. S. Rajni 참조 18회

도체장치 및 MEMS 용 센서는 니켈도금이 많이 이용되고 낮은 응력과 고경도 피막이 요구된다. 이에 적합한 니켈도금은 낮은 내부응력 높은 인장력을 갖는 설파민산니켈도금욕이다. 설파민산 니켈욕을 기본으로 하고, 전류밀도, 욕 pH, 온도, 금속염 농도를 변화시켜 도금피막 물성에 미치는...

니켈/합금 · 일렉트로닉스실장학회지 · 14권 1호 2011년 · Yohei WAKUDA · Satoshi KAIZUKA 외 .. 참조 17회

종횡비가 높은 MEMS 장치에서 LIGA 또는 LIGA와 유사한 프로세스가 일반적으로 사용된다. 이러한 공정에서 소자구조의 재료는 전착이 쉽기 때문에 니켈 또는 구리로 전기도금한다. 이 논문에서는 대체재료인 전기도금된 니켈텅스텐합금도금이 MEMS 재료로 검토되었다. 기계적, 화학적 및 자기 ...

니켈/합금 · 電気学会論文誌 · 19권 11호 1999년 · Hidehiro Ikeda · Sunao loku 외 .. 참조 10회

설파민산 니켈욕을 기본으로 하여 도금조건인 전류밀도, pH,온도등 각종요인이 도금피막의 경도나 항장력, 응력 등 피막물성에 미치는 영향에 대하여 조사하고, MEMS 디바이스에 요구되는 피막물서으로 높은겨오, 낮은응력의 도금피막제작을 시도하였다.

니켈/합금 · 표면실장기술 · 7호 2011년 · Yohei WAKUDA · Satoshi KAIZUKA 외 .. 참조 8회