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습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...
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액체 크로마토그래피에 의한 산성 구리 도금욕에 있어서 첨가제 및 부산물의 측정
이 애플리케이션 노트는 흡광도 검출 기능이 있는 Thermo Scientific™ Dionex™ IonPac™ NS1 컬럼을 사용하여 산성 구리도금욕에서 첨가제와 부산물을 측정하는 방법에 대해 설명하였다. 구리 전기도금 시스템은 반도체 웨이퍼에 구리를 전착한다. 산성 구리 도금의 주요 구성 요소는 황산구리, 황산 및 ...
시험분석
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thermofisher · APPLICATION NOTE 139 · Mark Laikhtman ·
Jeff Rohrer
참조 21회
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이온 크로마토그래피(IC)는 산성구리도금욕에서 염화물 측정을 위한 편리한 방법을 제공한다. 이 도금욕은 반도체 웨이퍼에 구리를 전착하는 데 사용된다. 염화물 농도 모니터링은 구리 전착 품질에 중요한 역할을 하기 때문에 중요하다. 산성 구리욕에는 일반적으로 황산구리, 황산, 염산 및 다양...
시험분석
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Thermo Fisher · AU72540-EN 1017S · Edward Kaiser ·
Jeff Rohrer
참조 9회
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이온 크로마토그래피의 원리와 도금액분석 응용사례
이온크로마토그래피 (IC: Ion Chromatography) 법은 액체크로마토그래피의 일종이며, 이온교환칼럼 (column) 에 의해 이온성분 분리 후, 전기전도도를 검출하는 기술로서, 30 년전에 확립되었다. 무기음이온, 무기양이온, 유기산, 아민을 간편한 조작에 의해 고감도로 정량할 수 있다.
시험분석
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한국과학기술정보연구원 · na · 이해용 ·
참조 50회
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