습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...
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제2환원제로서 DMAB를 이용한 구리 미세패턴에 있어서 선택적 무전해니켈 도금
DMAB을 제2환원제로한 무전해니켈 도금의 석출 메카니즘과 선택적 석출성에 관하여 검토한 결과보고
구리/합금
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표면기술 · 52권 3호 2001년 · Katsuhiko TASHIRO ·
참조 45회
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무전해 니켈(Ni) 도금에 의한 선택적 CONTACT HOLE 충전
염화팔라듐 PdCl2 에 의한 고체실리콘 위에 활성화 처리를 기초로 하여 pattern 상에서 Dimethylamine boran ( DMAB) 에 의한 선택적 무전해니켈도금에 대한 연구
니켈/Ni
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한국표면공학회지 · 25권 4호 1992년 · 우찬희 ·
권용한
외 ..
참조 19회
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DMAB에 의한 P형 실리콘 쇠재(기판) 무전해 니켈-붕소 도금
실리콘 소자의 집적도가 증가함에 따라서 Metallization Dimention 의 감소는 필수적이며 Al 도체의 사용은 Electromigration, Junction Spiking 등의 많은 문제점을 안고 있다. 특히 Contact Hole 및 Multilayer 구조에서 Via Hole 의 크기가 작아짐에 따라 물리적 증착방법에 의해서 생기는 Step Cove...
니켈/Ni
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한국표면공학회지 · 24권 4호 1991년 · 김영기 ·
박종환
외 ..
참조 28회
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고 아스펙트렌치내에 있어서 무전해 니켈도금의 균일 석출성
마이크로 트렌치내의 무전해 니켈도금에 있어서, 착화제의 영향이 크므로, 이들의 석출거동에 관하여 전기화학적 방법으로 검토 [高アスペクトトレンチ内における無電解ニッケルめっきの均一析出性]
니켈/Ni
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일럭트로닉스실장학회 · 18권 SPACE 2004년 · 岡部 敏之 ·
加藤 瑛
외 ..
참조 32회
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무전해도금을 원리와 각 소재별로 나누어 설명하고, 무전해 도금공정과 설비및 도금원액처리를 취급하였으며, 응용 분야로는 전자파시일드 전파부품등을 언급
도금자료기타
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na · na · 김홍구 ·
참조 67회
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아루미나 세라믹상의 무전해 Ni-W-B 도금에 관한 연구
저온과 저 pH에서 우수한 도금성을 나타내는 DMAB을 환원제로 Ni-W-B의 삼원계 무전해 도금피막을 만들고, 황산니켈, 구연산소다, 텅스텐산소다의 농도를 변화시켜 이들 성분이 도금속도, 피막의 조성, 전기비저항 등의 성질에 미치는 영향을 조사했다
합금/복합
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금속표면처리 · 22권 4호 1989년 · 유능희 ·
강성군
참조 40회
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비정질박 대상의 무전해 Co-Fe 합금석출의 전기화학적 특성
비정질로 석출된 무전해 코발트-철 Co-Fe 도금막을 전극으로 하여, 도금욕에서 금속이온을 제거한욕의 양극분극 곡선을 측정하여, 환원제 DMAB의 산화반응에 대한 CO 전극 및 Co-Fe 전극의 촉매활성의 서열을 조사
합금/복합
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표면기술 · 49권 6호 1998년 · Koh-ichi MARUYAMA ·
Mieko MSASUDA
외 ..
참조 24회
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무전해 NiB 도금을 이용한 마이크로패터닝에 있어서 착화제의 영향
DMAB 를 환원제로한 붕소계 도금욕의 문제점인 레지스트상의 이상석출을 개선하기 위하여, 환원제에 DMAB을 이용한 무전해 NiB 도금의 패터닝기술의 확립
니켈/Ni
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표면기술 · 49권 12호 1988년 · Tokihiko YOKOSHIMA ·
Hiroko YUASA
외 ..
참조 47회
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무전해 석출법에 의한 산화아연층 형성에 있어서 소재 전처리의 영향
무전해 석출을 이용한 산화아연층 형성에 관하여, 전처리의 촉매층의 균질성의 영향 및 환원제로서 사용되는 디메틸아민보란 (DMAB) 농도의 영향에 관하여 검토
비금속무전해
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na · na · Norio EJIRI ·
Hisaya TAKAHASHI
외 ..
참조 30회
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무전해구리도금은 황산구리, EDTA, DMAB 및 트리에탄올아민을 포함하며 약 pH 8~9 범위로 조정 된다. 시안화물 이온을 단독으로 또는 티오디프로피온산과 같은 황화합물 또는 질소 화합물과 함께 첨가 한다. 1,10- 페난트롤린이 광택 구리 피막을 제공 한다.
구리/Cu
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미국특허 · US 4818286 / 1989.1.4. · Rangarajan Jagannathan ·
Mahadevaiyer Krishnan
참조 42회
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