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다수의 마이크로 머신 자기센서 및 액추에이터에는 수 마이크로 미터 범위의 높은 투자율 및 두께와 같은 바람직한 자기 특성을 가진 재료가 필요하다. 자기저장 응용분야에서 적절한 자기 특성을 가진 재료가 보고되었지만, 종종 미세가공된 센서 및 액추에이터에는 불충분한 두께범위가 있다. 우리는 ...
합금/복합
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Elec. Solid-State Letters · 2권 12호 1999년 · William P. Taylor ·
Michael Schneider
외 ..
참조 22회
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