LSI용 Al 패드에 대한 징케이트 전처리의 시물레이션 실험
마그네트론 스퍼터법으로 만든 알루미늄 Al 박막을 정전위 분극하에서 징케이트 전처리할때 아연치환 석출량, LSI용 Al 패드의 도금 전처리공정을 시물레이션을 위한, 모델 IC의 각 핀에 미소 Al 전극을 접속하여 징케이트 처리할때 IC 내부회로가 징케이트 전처리에 있어서 영향을 조사하였다. [LSI用A...
도금자료기타
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표면기술 · 54권 6호 2003년 · Kazuhisa AZUMI ·
Yuichi KOYAMA
외 ..
참조 44회
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