구리의 화학적 기계적 평탄화에 있어서 글리신의 역할
화학 기계적 연마 (CMP)는 구리 상호 연결을 포함하는 집적 회로 생산에 필수적인 공정이다. 구리 CMP 에 사용될 수 있는 대표적인 반응성 슬러리에서 글리신의 역할은 작용 메커니즘에 대한 이해를 높이기 위한 목적으로 연구하였다. 실험적으로 측정된 분극 곡선은 구리-물 및 구리-물-글리신 시스템...
구리/합금
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Electrochemical Society · 149권 6호 2002년 · Serdar Aksu ·
Fiona M. Doyle
참조 56회
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