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무전해 구리 석출에 영향을 미치는 욕 조건 - 평가
Bath Parameters Affecting Electroless Copper Deposition - A review

등록 2014.06.20 ⋅ 29회 인용

출처 IJRS, 3권 4호 2014년, 영어 15 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.03.07
구리의 무전해도금은 높은 선택성, 매우 얇은 시드층의 사용에 우수한 스텝커버리지, 우수한 트렌치 충전용량 및 웨이퍼의 전기적접촉에 대한 필요가 없기 때문에 구리 리트로 도금보다 더 매력적인 공정으로 간주된다.
  • 구리는 용액에서 전착된 최초의 금속중 하나였다. 산성 황산욕은 100년 넘게 사용되어 왔다. 오늘날 도금분야뿐만 아니라 전해정제 및 구리전해조 분야에서도 폭넓게 응용되...
  • 가용성 양극 ㆍ Soluble Anode 도금이 진행됨에 따라, 금속이 도금액에 용해도는 양극이다. 이 반응이 도금액중에 금속이온의 공급을 가능하게 된다. 음극에 석출된 도금의 ...
  • 금은 부드럽고 연성인 금속이다. 공기중 녹슬거나 부식되지 않으며 화학적 공격에도 쉽게 반응하지 않는다. 비중이 19.3이고 정상적으로 1 또는 3가이다. 낮은 전기 저항을 ...
  • 산성 구리도금 욕에 관한 것으로,보다 구체적으로 는 사용시 도금특성을 향상시키기 위해 개조된 욕조에 관한 것이다. 최근 몇년 동안, 표면 연마에 필요한 노동력과 경제성...
  • Co 75 W 25 (원자 %) 및 Ni 100-x Px (x = 16~25) 합금의 구조 연구는 둘 다 수용액으로 제조되어 비평형 구조를 가지고 있는지 확인했다. 그들의 구조 모델은 상관 방법에 ...