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아황산금 착화에 의한 비시안 무전해금 Au 도금의 욕 안정화의 평가
Evaluation of the bath stability of non-cyanide electroelss gold plating by disulfiteaurate complex

등록 2008.08.30 ⋅ 57회 인용

출처 Kanto University, na, 영어 1 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 금/Au | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.02.08
시안화금 복합체는 무전해금 Au 도금의 금속물로 널리 사용되었다. 그러나, 시안화물 화합물이 포함 된 도금욕은 위험하며 포토레지스트에 침투하거나 용해시키는 경향이 있다.