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CMOS-기반 센서용 알루미늄 칩패턴의 무전해금 Au 도금
Electroless Gold Plating on Aluminum Patterned Chips for CMOS-Based Sensor Applications

등록 : 2014.03.03 ⋅ 17회 인용

출처 : Electrochemical Society, 157권 1호 2010년, 영어 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

고정우1) 구효철2) 김동완3) 서성민4) 강태준⁵) 권영주⁶) 윤정민⁷) 전준호⁸) 김용협⁹) 김재정10) 박정준11)

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
팔라듐을 사용하여 알루미늄 및 그 합금을 활성화하는 방법과 상보적인 금속산화물 반도체 CMOS 기반 센서 애플리케이션을 위한 후속 무전해금도금 ELP를 제시 하였다. 이 연구에서는 기존 CMOS 회로와 쉽게 통합 할수 있도록 CMOS 프로세스호환 알루미늄 Al 패턴칩을 소재로 사용했다. 금속전극과 단일벽 탄소나 튜브 S...
  • 여러형태의 무전해 금도금 프로세스에 있어서 무전해니켈-인 피막형태가, 무전해니켈-인 피막중의 인함유량 및 니켈석출피막형태와 와이어본딩특성과의 관련성에 관하여 검...
  • 무전해도금에서는 용액에 존재하는 환원제와 금속이온 사이의 화학반응의 결과로 금속 도금이 형성된다. 이러한 반응에서 나타나는 금속상은 용액의 벌크에서 또는 고체표면...
  • 통합강화 등 LSI 기술의 발전에 따라 리드 프레임의 제조기술이 중요 해지고 있다. LSI 패키지를 개발하는 동안 패키징 효율성과 신뢰성을 향상시키기 위해 리드프레임용 도...
  • 황산, 알칸설폰산 및 알카놀설폰산 및 그 유도체로 부터 선택된 화합물, 과산화수소, 테토라졸 및 그 유도체로 구성된 군으로 부터 선택된 화합물, 구리보다 전위가 귀한 금...
  • 광택 주석-니켈 합금도금액은 본질적으로 주석염, 니켈염 및 알칼리 금속염을 인산염을 포함하는 수묭성 도금액으로 구성되며, 첨가제로 아미노기, 예를 들어 에틸렌디아민,...