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무전해 구리도금에 Indium Tin Oxide (ITO) 표면처리화
Optimized Surface Treatment of Indium Tin Oxide (ITO) for Copper Electroless Plating

등록 2008.09.03 ⋅ 73회 인용

출처 Appl. Phys., 41권 2002년, 영어 3 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.07.18
인듐-주석산화물 (ITO) 기판에 무전해 도금된 구리 Cu 필름은 대규모 액정 디스플레이 (LCD) 및 플라즈마 디스플레이 패널 (PDP) 에 데이터 버스 라인을 적용하기 위해 연구하였다. ITO 기판의 최적화된 표면처리를 광범위 하게 조사하였다. 주석 Sn 민감화 및 팔라듐 Pd 활성화의 2단계 전처리는 최상의 결과를 가져왔다. ...

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