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웨트에칭의 전기화학 측정셀의 개발
Development of electrochemical Measurement Cell for Wet Etching

등록 2014.05.12 ⋅ 30회 인용

출처 표면기술, 64권 5호 2013년, 일어 4 쪽

분류 해설

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.10
스프레이방식을 이용한 웨트에칭의 전기화학측정셀을 개발하고, 금속의 자연전위를 측정하여, 용액과 전위의 관계를 검토 [ウェットエッチングの電気化学測定セルの開発]
  • 엔지니어링 프라스틱과 이들의 도금가공의 문제점과 대책에 관하여 설명하고. 도금층의 성능을 측정하는 방법, 도금 가공조건과 도금층 성능을 실험결과를 설명하였다.
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  • 구리 Cu 의 무전해도금은 높은 종횡비 구조를 가진 Si를 통해 얇은 코발트 Co 층에서 조사되었다. 무전해도금조는 전기화학적 분석을 사용하여 Cu 핵형성 동안 Co 부식...
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