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트리블록 공중합체 PEP-3100 과 야누스 그린 B 을 첨가한 무전해 도금에 있어서 상향식 충진
Bottom-Up Filling in Electroless Plating with an addition of Janus green B and triblock compolymer PEP-300

등록 : 2014.07.10 ⋅ 16회 인용

출처 : Electrochem Sci., 8권 2013년, 영어 9 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

Janus Green B
Triblock Copolymer PEP-3100 

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.19
무전해구리의 상향식 충진은 일반적으로 무전 해구리의 표면 도금을 억제하거나 트렌치 바닥에서 상대적으로 높은 무전해구리도금 속도를 달성하기 위한 가속화에 달려 있다. 소재표면에서 무전해구리의 도금 속도가 억제되고 트렌치 바닥에서 가속되는 무전해구리의 상향식 충진이 야누스를 추가하여 욕조를 설계 및 달...