로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10983건

습식도금 자료분류

자료수 10984 건

추천글

Tag LIST

억제제로서 알칸-티올을 첨가한 무전해 도금의 서브미크론 홀 깊이에 있어서 구리의 상향식 충진
Bottom-up Fill of Copper in Deep Sub Micron Holes by Electroless Plating with Addition of Alkane-Thiol as an Inhibitor

등록 : 2009.06.05 ⋅ 34회 인용

출처 : Electrochemical, NA, 영어 1 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

S.Shingubara1) Z.Wang2) R.Obata3) H. Sakaue4) T. Takahagi 5)

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.06
구리는 ULSI 에서 금속 상호연결에 널리 사용 된다. 전기도금 용액에서 구리 Cu 의 상향식 충진이 광범위 하게 연구되었다. 상호연결 크기의 축소로 인해 전기도금 전에 스퍼터링된 Cu 시드 레이어를 사용하는 것이 점점 더어려워지고 있다. 질화탄탈럼 TaN 또는 질화텅스텐 WN 장벽 금속에 대한 무전해도금은 변위반응...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 무전해 니켈 석출의 내식성에 대한 액 노화의 영향
  2. 연구문헌자료.. 산성 무전해니켈 도금 복합 광택제 및 그 사용 방법
  3. 연구문헌자료.. 플렉스 회로용 연성 무전해 니켈을 사용한 ENIG
  4. 연구문헌자료.. 폴리이미드에 무전해 도금 기술의 실용화
  5. 연구문헌자료.. 유기적으로 안정화된 무전해 니켈을 사용한 운영 경험
  6. 연구문헌자료.. CaCO3 분말 표면에 대한 무전해 니켈 도금 방법
  7. 도금재료 카타록/TDS.. LEN 193 / Electroless Nickel
  8. 연구문헌자료.. 시라스의 공업적 이용에 관한 연구 (제11보) - 시라스 발룬의 무전해니켈도금
  9. 연구문헌자료.. 구연산을 착화제로한 화학니켈 도금욕의 폐액처리
  10. 도금재료 카타록/TDS.. TAILORCOAT® ENiP Tribology Solutions