로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 11124건

습식도금 자료분류

자료수 11125 건

추천글

Tag LIST

억제제로서 알칸-티올을 첨가한 무전해 도금의 서브미크론 홀 깊이에 있어서 구리의 상향식 충진
Bottom-up Fill of Copper in Deep Sub Micron Holes by Electroless Plating with Addition of Alkane-Thiol as an Inhibitor

등록 2009.06.05 ⋅ 59회 인용

출처 Electrochemical, NA, 영어 1 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

S.Shingubara1) Z.Wang2) R.Obata3) H. Sakaue4) T. Takahagi 5)

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.06
구리는 ULSI 에서 금속 상호연결에 널리 사용 된다. 전기도금 용액에서 구리 Cu 의 상향식 충진이 광범위 하게 연구되었다. 상호연결 크기의 축소로 인해 전기도금 전에 스퍼터링된 Cu 시드 레이어를 사용하는 것이 점점 더어려워지고 있다. 질화탄탈럼 TaN 또는 질화텅스텐 WN 장벽 금속에 대한 무전해도금은 변위반응...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 형광 XRF 두께측정기를 이용하는 프린트 기판 상의 무전해 Ni/Au 도금 피막의 도금 두께와 P 농도의 동시 측정
  2. 연구문헌자료.. 화학물질 감소에 의한 철강의 니켈 도금
  3. 도금재료 카타록/TDS.. NiKlad ELV Electroless Nickel Coatings
  4. 연구문헌자료.. 납 및 카드뮴이 없는 무전해 니켈의 고성능 특성
  5. 연구문헌자료.. 무전해 니켈 석출의 내식성에 대한 액 노화의 영향
  6. 연구문헌자료.. 산성 무전해니켈 도금 복합 광택제 및 그 사용 방법
  7. 연구문헌자료.. 플렉스 회로용 연성 무전해 니켈을 사용한 ENIG
  8. 연구문헌자료.. 폴리이미드에 무전해 도금 기술의 실용화
  9. 연구문헌자료.. 유기적으로 안정화된 무전해 니켈을 사용한 운영 경험
  10. 연구문헌자료.. CaCO3 분말 표면에 대한 무전해 니켈 도금 방법
  • 실리콘알-루미늄 AlSi- 마크네슘-구리 CuMg 와 같은 Al-Si 피스톤합금은 기존의 황산공정과 비교하여 상대적으로 높은 온도에서 경질피막을 형성할수 있는지 확인하기 위한 ...
  • 이미다졸 · Imidazol C3H4N2 = g/mol CAS 288-32-4 아연도금 첨가제 및 축합생성물 반응 참고 [아연도금첨가제|아연도금 첨가제] Wiki 이미다졸
  • 기초 연구재료로서 많이 연구된 팔라듐-니켈-인 Pd-Ni-P에 착안하여 전석법을 이용한 Pd-Ni-P 금속 유리 박막의 제작을 검토했다. 또한 전석할때의 전류밀도를 변화시키...
  • 아연의 전기화학 도금과 주기율표의 8번째 그룹 (니켈, 코발트, 철)의 원소와의 조합은 순수한 아연과 비교하여 부식방지 성능이 좋다. 철강편의 이러한 피막은 백색 및 적...
  • 산소요구량 ㆍ Oxygent Demend [COD|화학적 산소요구량] 약품명 분자량 ＴＯＤ (g/g) ＣＯＤ (g/g) ＢＯＤ (g/g) ＴＯＣ (g/g) 1 차아인산소다 NaH2PO2 · H2O 0.3 0.3 － －...