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TiN 박막 위에 팔라듐을 촉매 활성제로 이용한 구리 무전해 도금에 관한 연구
Electroless Copper Deposition on Titanium Nitride Substrate using Palladium As a Catalytic Activator

등록 2009.08.13 ⋅ 56회 인용

출처 Web, na, 한글 4 쪽

분류 연구

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저자

오윤진1) 박종호2) 안경희3) 조성민4) 정찬화5)

기타

자료

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자료요약
카테고리 : 비금속무전해 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.06
구리를 seed layer로 증착하기 위하여 그 동안 문제되어왔던 표면의 자발적인 촉매화를 유발시키기 위하여 팔라듐을 catalytic activator로 사용하였다. 또한 팔라듐 입자을 생성시키는 전단계인 세정공정이 어떠한 영향을 주고 결과적으로 구리 증착에 어떠한 영향을 주는가에 대하여 연구하였다.
  • 표면처리의 결점의 연구가 중요하여 이를 이를 설명하고, 결점의 분류/결점발생원인등의 요인을 설명
  • 발명은 마그네슘 및 마그네슘 합금의 내부식성 향상을 위한 표면처리 방법으로써, 보다 상세하게는 크롬 및 망간 성분과 같은 환경오염 물질이 아닌 친환경적인 전해액을 사...
  • 종래의 전해식 두께측정기는 이중 니켈도금의 니켈층 간의 두께측정이 곤란하나, 개량형 전해식 두께측정기는 가능하다
  • 루갈반 ㆍ Lugalvan 독일 [BASF] 사의 도금용 광택ㆍ첨가제 원료약품 등록상표 Lugalvan [BPC48] ⇒ Na, Benzyl Pyridinium Carboxylated ⇒ 알칼리 아연 및 합금 광택제 Luga...
  • 은 Ag 과 비금속에 변색방지를 제공하는 수단으로 백금족금속의 전착코팅의 불활성 특성에서 얻은 이점은 오랫동안 인식되어 왔으며 특히 로듐의 경우 그 용도가 널리 확립...