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MEMS를 위한 도금/전주기술
Electroplating and electroforming for MEMS

등록 : 2008.08.04 ⋅ 49회 인용

출처 : 표면기술, 55권 4호 2004년, 일본어 5 페이지

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

MEMSのためのめっき・電鋳技術

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자료요약
카테고리 : 전기도금기타 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2015.03.22
도금기술의 새로운 용도개발을 목적으로 LIGA 프로세스를 응용하여 초미세가공기술로 저열팽창성이나 자성특성을 가진 고경도 니켈-철 합금도금 기술의 응용예를 소개