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정전위 분극법과 BTA을 이용한 웨트 에칭에 있어서 언더커트의 제어
COntrol of Undercut on Wet Etching by Potentiostatic Polarization Method and BTA

등록 2014.10.01 ⋅ 29회 인용

출처 표면기술, 64권 10호 2013년, 일어 2 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.01
구리의 용해에 대한 BTA를 조합하여, 웨트 에칭에 있어서 언더커트의 형태 제어에 관하여 검토
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