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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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Ni-PTFE 미소전주 복합도금을 사용한 LIGA 삽입몰드의 생산
Fabrication of LIGA mold insert using Ni-PTFE composite micro-electroforming

등록 : 2008.08.22 ⋅ 22회 인용

출처 : Conference Series, 34권 2006년, 영어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Yuhua Guo1) Gang Liu2) Ying Xiong3) Xuelin Zhu4) Wang Jun5), Yangchao Tian6)

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.08
깊은 X 선 리소그래피와 전기 주조 및 폴리머 성형을 결합한 LIGA 공정은 MEMS를 생산하는 주요 제조 방법이다. 핫 엠보싱은 폴리머 미세 가공의 주요 가공 기술 중 하나이며, 이는 LIGA (UV-LIGA) 기술이 저비용 대량 생산을 달성하는 데 도움이된다. 그리고 더 나은 폴리머 복제품을 얻기 위해서는 핫 엠보싱 중 탈형 공정...
  • 환원제 N % EDTA (에틸렌 다이아민 테트라 초산)-2H, 착화 첨가제로 글리옥실산, 페로시안화 칼륨 (potasium ferrocyanideb) 와 비피리딘 (2,2 '-bipyridine) [[무전해구리...
  • 막 전기분해에 의한 무전해 구리도금액의 전기 화학적 재생 가능성을 연구하였다. 구리이온의 농도가 무전해 구리도금 과정에서 도금된 것보다 훨씬 높은 속도로 증가하는 ...
  • 알루미늄 또는 알루미늄 합금에 무전해니켈을 도금하는 방법이 설명되어 있다. 이 방법은 알루미늄 금속 반도체 장치에 본딩 패드를 제작하고 빔 리드를 만드는데 특히 유용...
  • 다이나믹 화학도금 (Dynamic Chemical Plating) 이라는 새로운 구리 직접화학 도금방법을 설명한다. 이 저비용 기술은 구리금속 이온과 보로 하이드리이드 환원제를 포함하...
  • 디스플레이 공정용 약품 ^ Chemicals for Display Process Cleaning TMAH (Tetramethylammonium) hydroxide NaOH (Sodium hydroxide) KOH (Potassium hydroxide) Developmen...