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황산-과산화수소 용액에 의한 구리의 에칭에 대한 첨가제의 효과
Addition Effect on the Etching of Copper using Surfuric Acid/ Hydrogen Peroxide Solution

등록 2017.01.09 ⋅ 148회 인용

출처 표면기술, 67권 1호 2016년, 일어 3 쪽

분류 해설

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저자

Asuka SEIKISHITA1) Moe LIMURA2) Natsumi TAKAYA3) Kenji KUBODA4) Katsutoshi MATSUMOTO5)

기타

硫酸/過酸化水素水溶液による銅のエッチングに対する添加剤の効果

자료

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.01
1-프로페놀에 의한 용해속도 증가 메카니즘의 해명을 목적으로 황산/과산화수소 용액에, 구조가 다른 유기화합물을 첨가하고, 그 효화를 비교하기 위하여 1-프로펜, 1-프로필아민, 프로비온산, 1- 프로펜설폰산소다를 비교하였다.
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