로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10820건
폴리에틸렌글리콜 유도체의 에비흡착을 이용한 구리전석 프로세스에 의한 ULSI 미세배선의 형성
Formation of ULSI interconnection by Copper Electrodepostion Process using the Pre-adsorption of polyethylene Glycol deliveative

등록 : 2008.08.23 ⋅ 25회 인용

출처 : 표면기술, 58권 7호 2007년, 일본어 5 쪽

분류 : 연구,해설,특허

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.07.29
구리의 석출억제제인 폴리마성분의 염화물 이온의 특이흡착이 없이 구리표면의 예비흡착 및 첨가제를 함유하지 않은 산성황산구리욕과 불용성 아노드를 사용한 구리전석 프로세스로 ULSI 미세배선의 형성에 관하여 검토하였다.

연관글

  1. 연구문헌자료.. 금속층에 입자를 포함한 금속 매트릭스 복합 도금의 전착 검토 : 확립되고 다양화되는 기술
  2. 연구문헌자료.. 산성 구리 도금욕에 있어서 유기 첨가제의 SPE-HPLC 검출 1. 설포프로필 디설파이드계 광택제
  3. 연구문헌자료.. 폴리에틸렌 글리콜 및 프러로닉계 계면활성제의 흡착이 구리전석 억제효과에 있어서 영향
  4. 연구문헌자료.. 나노결정 아연의 전착에 대한 폴리에틸렌글리콜의 효과
  5. 연구문헌자료.. 전착 구리의 미세구조와 표면에 대한 고분자 첨가제 분자량의 영향
  6. 연구문헌자료.. 비스 -3-설포프로필 -디설파이드가 주어진 구리 전착에 대한 폴리에틸렌 글리콜의 분자량의 효과
  7. 연구문헌자료.. 트리에탄올아민이 포함된 알칼리욕에서 Zn-Ni 합금피복 - 첨가제의 영향
  8. 연구문헌자료.. 구리의 펄스전착에 있어서 첨가제의 효과
  9. 연구문헌자료.. 주석의 전착과 구조 및 부식 거동에 대한 첨가제의 영향
  10. 연구문헌자료.. 구리와 구리합금 : 첨가제의 연구