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근접장광학 센서를 이용한 황산구리 도금액중의 첨가제 관리방법
A Monitoring Method of Additives in a Copper Sulfate Plating Solution Using a Newar-Field Optical Sensor

등록 : 2017.11.20 ⋅ 13회 인용

출처 : 표면기술, 67권 11호 2016년, 일어 6 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

近接場光学センサーを用いた硫酸銅めっき液中の添加剤管理方法

자료 :

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2017.11.20
금속의 석출량과 석출형태를 추정하고, 도파 모드센서를 이용한 첨가제의 진단방법을 개발
  • 부식 시험 방법 ^ Cortosion Test Method [대기폭로시험] 강우시험 [부식시험] 참고 [내식시험방법]
  • 반도체 제조공정에서 첨단 소자 설계채택과 구리/저유전절연막의 통합이 진행되면서 호환가능한 새로운 세정화학액의 필요
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