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2-(티오벤질)-5-니트로-1H-벤지미다졸에 의한 2M 질산 용액 내 구리의 부식 억제
Corrosion Inhibition of Copper in 2M Nitric Acid Solution by 2-(Thiobenzyl)-5-Nitro-1H-Benzimidazole
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기타
Applied Pharmaceutical Sciences and Research
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자료요약
카테고리 : 산세/탈지 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.01.13
질산을 사용한 산세척의 억제제를 사용이 최근에 시작되었다. 2M 질산 용액에서 구리 부식에 대한 TBNBI 억제 효과는 온도 (25~40 °C) 및 억제제 농도 범위 10-4~5.10-3 M 에 따른 중량 감소 방법으로 조사하였다. TBNBI 가 구리에 대한 우수한 억제제이며 억제 효율은 TBNBI 농도에 따라 증가하지만 온도가 증가하면 감소한다.
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폴리에틸렌글리콜 (PEG) 은 반도체 웨이퍼에 구리 인터커넥트를 도금하는데 사용되는 전기도금욕에 중요한 첨가제다. 이전 논문에서 Yokoi et al., [전기화학 및 공업화학] ...
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Carrier · 캐리어 광택제 조성중의 하나로 보통은 1차 광택제에 해당된다. 2차 주광택제의 사용 범위를 넓게하며 도금액을 둔하게 만든다. 유·무기불순물의 허용범위를 넓게...