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펄옥소 2황산 암모늄용액을 이용한 구리의 에칭레이트 결정구조 및 영향
Influence of Crystallographic Structure on Etching Rate of Copper by Using Ammonium Peroxodisulfate Solution

등록 2019.12.31 ⋅ 39회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회, 15권 3호 2012년, 일어 8 쪽

분류 연구

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저자

기타

ペルオキソ二硫酸アンモニウム溶液を用いた銅のエッチングレートに結晶構造が及ぼす影響

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2021.02.28
1 mol/dm3 과산화 이황산암모늄을 이용한 구리의 에칭속도에 있어서 결정구조의 영향을 Scanning Probe Microscope (SPM) 과 Electron Back Scatter Diraction Patterns (EBSD), 부식전위 측정을 통해 분석했다. 낮은 지수면인 (001) 면과 (101) 면, (111) 면의 에칭 속도가 낮고, 높은 지수면인 (327) 면과 (425) 면의 에칭...
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