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새로운 구리의 화학에칭 처리제
A novel chemical etching regent for copper

등록 2010.01.08 ⋅ 51회 인용

출처 금속표면기술, 38권 8호 1987년, 일어 2 쪽

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.01
온화한 조건하에 있어서 구리에 대한 선택적으로 작용하는 새로운 화학에칭 처리제의 개발
  • 구리의 무전해도금은 높은 선택성, 매우 얇은 시드층의 사용에 우수한 스텝커버리지, 우수한 트렌치 충전용량 및 웨이퍼의 전기적접촉에 대한 필요가 없기 때문에 구리 리트...
  • 8~15 % 니켈을 함유한 아연니켈합금도금은 부식 방지를 위해 스테인리스강 위에 도금하였다. 알칼리욕에서 우수한 소재보호를 제공하는 것으로 밝혀고, 알칼리욕이 산성...
  • 다색으로 국부적으로 유기염료로 염색된 부분을 갖는 다색 장식용 아연 또는 아연합금은 염색 가능한 크로메이트 피막이 결합된 아연 또는 아연 합금으로 염색하였다
  • 비치환 또는 치환 파라알킬 벤젠설폰산, 낮은 전류 밀도에서 우수한 도금을 제공할 수 있는 하나 이상의 산, 하나 이상의 첨가제, 주석원 및 물을 포함하는 주석으로 표면을...
  • 비시안욕에서 은-주석 Ag-Sn 합금도금의 실용화를 목적으로, 시안화금칼륨 KAg(CN)2 와 피민산주석 Sn2P2O7 을 주성분으로한 피로인산욕의 합금조성, 캐소드 전류효율 및 합...