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다마신 구리전기도금
Damascene Copper Electroplating

등록 : 2009.05.27 ⋅ 25회 인용

출처 : 세종대, na, 영어 33 쪽

분류 : 발표

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.10.15
-소개 -전기 도금의 기초 -Damascene Cu 전기도금 화학 -다마신 필름 증착 -모델링 기능 -프로세스 통합 -공정 제어 접근