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초임계유체중 아니링에 의한 구리동피막의 개질
improve of electroplated copper films by annealing in supercritical fluid

등록 2011.05.19 ⋅ 23회 인용

출처 표면기술, 61권 8호 2010년, 일어 4 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

Kazuyoshi UENO1) Yuji SHIMADA2) Yoshinori AOKI3) Shigeru YOMOGIDA4) Seishi AKAHORI5) Tomohiko YAMAMOTO6) Takamasa YAMAGUCHI7) Akiko MATSUYAMA8) Takashi YATA9) Hideki HASHIMOTO10)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2016.03.26
새로운 검색방법의 하나로 초임계전류중의 아닐분석방법을 검토