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습식 에칭의 이론과 기술 동향
Theory of wet etching and its technical trend

등록 : 2010.01.14 ⋅ 43회 인용

출처 : 실무표면기술, 35권 11호 1988년, 일어 9 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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기타 :

湿式エッチングの理論と技術動

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.10
습식 에칭의 기초로서 화학 용출의 전기화학적 기구, 디퍼런스 효과, 정크 효과 등에 관하여 설명하고, 원심력 에칭과 레이저 에칭 등에 관하여 설명