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웨이퍼 세척기술
Wafer Cleaning Technology

등록 2010.02.08 ⋅ 63회 인용

출처 표면기술, 50권 10호 1999년, 일어 6 쪽

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자료요약
카테고리 : 산세/탈지 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.09.22
웨트세척기술의 개념을 소개할 목적으로, 대표적인 세척법으로 RCA 섹척과 자연산화제거법을 이용한 HF계 세척 및 건조기술, 드라이에칭후에 형성된 레지스토 잔유물의 제거, 파티클제거에 이용되는 물리세척, 기능수등의 기술에 대하여 설명
  • 구리-시안착물을 펜톤시약으로 처리시 폐수의 농도변화에 따라 시안과 과산화수소의 몰비 변화, 과산화수소와 철염의 질량비 변화, pH의 변화등의 여러가지 변수에따른 제거...
  • 연속 생산방식의 무전해 니켈 도금욕 재생기 The EDEN System for Electroless Nickel bath Life Ectension
  • 무전해구리도금은 우수한 연성, 열전도도 및 전기 전도도, 무전해도금의 독특한 가장자리없는 효과로 인해 전자, 기계, 플라스틱, 대만금, 석유 화학, 세라믹, 항공 우...
  • 디그리징 ㆍ Degreasing 금속 또는 제품표면의 유지 등 오염물을 제거하는 것을 말하지만, 도금에서 세정·탈지 등의 의미로 알칼리 침지탈지·용제탈지·전해탈지 등을 말한다...
  • 전기 도금 구리-주석 Cu-Sn 합금 도금은 장식 및 납땜성이 좋고, 비용이 저렴하고, 무독성이며, 과민성 등이 없어 널리 사용된다. Cu-Sn 합금도금 공정의 욕조성 및 작업조...