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고 아스펙트비 트렌치내에 있어서 무전해도금 반응의 해석
Analysis of electroless plating reaction in deep recessed trench

등록 : 2008.08.29 ⋅ 32회 인용

출처 : 표면기술, 56권 10호 2005년, 일어 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

高アスペクト比トレンチ内における無電解めっき反応の解析

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2019.12.07
트렌치 저부에 있어서 착화제종류가 초기석출개시후의 무전해니켈도금석출반응의 영향에 관하여 전기화학적 방법으로 해석