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정밀전주가 안고 있는 과제
Task of Electroforming

등록 : 2022.10.03 ⋅ 61회 인용

출처 : 표면기술, 73권 4호 2022년, 일어 3 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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精密電鋳が抱える課題

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자료요약
카테고리 : 도금자료기타 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.10.03
최근에는 전주 기술과 포토리소그래피 기술을 겸비한 복합기술·정밀전주에 대한 수요가 높아지고 있다. 정밀전주는 반도체 제조에 사용되는 포토리소그래피 기술에 의해 형성된 포토레지스트의 미세패턴에 전기도금으로 전주막을 성장시킴으로써 금속구조체를 제작할 수 있다. 유사한 기술로 화학적으로 부식 용해시키는 에...

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