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전기화학적 방법에 의한 실용적 구리 모니터링
Practical Methods to Monitor the Properties of Copper Plating Using Electrochemical Techniques

등록 2009.11.26 ⋅ 62회 인용

출처 표면기술, 59권 12호 2008년, 일어 6 쪽

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카테고리 : 시험분석 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.10
도금현장에서 사용되는 전기화학적 방법으로는 CVS 방법이 넓게 이용되고 있으나, 여기서는 그와 다른 새로운 전기화학적 방법을 이용한 분석방법을 소개
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  • 구리전착은 자기저장 산업과 같은 여러 전자산업에서 중요한 역할을한다. 자기기록 헤드에서 구리 코일은 포토 리소그래피 패턴에 전착되어 디스크 드라이브에서와 같이 자...
  • 신규 조성물 및 적어도 하나를 함유하는 수성 아디딕 크롬도금 용액을 통해 전도성 금속층을 함유하는 적어도 일부가 양극으로부터 음극으로 전류를 통과시키는 것을 포함하...
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  • 전석 팔라듐-니켈-인 합금피막의 졀정구조에 영향을주는, 공석의 영향에 관하여 검토하고,경도 및 접촉저항등의 피막특성에 관하여 검토하고. 고부하 접점재료로서의 적응성...