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전해액 조성에 따른 구리박막의 전기적 특성 변화에 대한 연구
Electrical Properties of Electroplated Cu Thin Film by Electrolyte Composite

등록 : 2014.02.23 ⋅ 12회 인용

출처 : 한국재료학회지, 19권 6호 2009년, 한글 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.06.03
구리금속배선의 물리적 특성과 전기적 특성의 상관관계에 대한 연구가 충분하지 않아, 전기도금된 구리박막 의 비저항에 대하여 전해액이 미치는 영향을 조사
  • 복합도금에 초진공교반기술의 적용가능성을 검토하기 위하여 초진동교반 공정조건에 따른 Ni-SiC 도금층을 제조하여, SiC 입자의 입도, 교반속도등이 Ni 도금층내의SiC ...
  • 개선된 내부식성을 부여하기 위해 패시베이트막을 증착시키기 위해 금속표면, 특히 아연 및 아연합금표면을 처리하기 위한 산성수용액 및 공정. 이 용액은 실질적으로 모든 ...
  • 구리전착에 사용되는 가장 일반적인 첨가제가 물리적, 미세구조 및 석출의 형태학적 특성에 미치는 영향이 연구 하였다. 구리도금의 미세 구조에 대한 상온 노화의 영향도 ...
  • 염산욕에 염화물이온의 확보를 위해 첨가되는 염화칼륨과 염화암모늄을 대상으로 각종 도금조건 및 용액조건의 변화에 대하여 이들이 도금층의 Fe 함량에 미치는 영향을 조사
  • 전주법이란 금속의 전착성을 이용하여 전해액 중에서 소정의 우너형 위에다 금속석출층을 생성시켜, 그 전착층을 목적하느느 제품으로 하는 가공법으로서 전기화학적 정밀 ...