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전해액 조성에 따른 구리박막의 전기적 특성 변화에 대한 연구
Electrical Properties of Electroplated Cu Thin Film by Electrolyte Composite

등록 2014.02.23 ⋅ 22회 인용

출처 한국재료학회지, 19권 6호 2009년, 한글 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.06.03
구리금속배선의 물리적 특성과 전기적 특성의 상관관계에 대한 연구가 충분하지 않아, 전기도금된 구리박막 의 비저항에 대하여 전해액이 미치는 영향을 조사
  • 황산니켈 용액에 대한 추가는 유기 및 금속의 두 가지 유형이다. 사용되는 유기 첨가제는 Watts 욕에서와 마찬 가지로 응력 감소제, 경화제, 레벨링제 및 습윤제 이다. 금속...
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  • 철을 중심으로 최근 양극산화 피막의 생성거동과 응용에 관하여 연구
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