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전해액 조성에 따른 구리박막의 전기적 특성 변화에 대한 연구
Electrical Properties of Electroplated Cu Thin Film by Electrolyte Composite

등록 : 2014.02.23 ⋅ 7회 인용

출처 : 한국재료학회지, 19권 6호 2009년, 한글 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.06.03
구리금속배선의 물리적 특성과 전기적 특성의 상관관계에 대한 연구가 충분하지 않아, 전기도금된 구리박막 의 비저항에 대하여 전해액이 미치는 영향을 조사
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  • 마이크로 빔 구조물의 공진 특성및 릴리즈후의 변형을 이용하여 전해 도금된 금 Au 구조물의 기계적 특성을 측정
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