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전해액 조성에 따른 구리박막의 전기적 특성 변화에 대한 연구
Electrical Properties of Electroplated Cu Thin Film by Electrolyte Composite

등록 : 2014.02.23 ⋅ 12회 인용

출처 : 한국재료학회지, 19권 6호 2009년, 한글 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.06.03
구리금속배선의 물리적 특성과 전기적 특성의 상관관계에 대한 연구가 충분하지 않아, 전기도금된 구리박막 의 비저항에 대하여 전해액이 미치는 영향을 조사
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  • 전해가공(ECM : Electro Chemical Machining)기술을 이용하여 가공물의 형상을 전극을 통해 가공하고 있습니다. 전극의 재질로 SUS316, 황동을 사용하고 있는데 전해액에 오...
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  • 본 방법에 사용된 킬레이트 수지는 니토리로 3초산과 유사한 다좌배위자 리간드를 갖는 것이며, 이가 금속 이온보다 삼가 금속 이온을 더 흡착하는 특징이 있다. 특히 Fe(ii...