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세라믹 다층막
Multilayer Ceramic Film

등록 : 2010.01.15 ⋅ 27회 인용

출처 : 표면기술, 40권 10호 1989년, 일어 6 쪽

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자료요약
카테고리 : 도금자료기타 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.07
세라믹 재료는 기능성 재료로서 많은 분야에 이용되고 있으며, 전자분야의 두께용 박막을 시작으로 다층화 적층화 하여 소령의 고성능 부품과 디바이스기 개발 실용화 되고 있다. 이중 그린 시트법에 의한 두께 다층 프로세스에 관한 설명