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미세가공기술과 장래의 도금기술

Prospects of electroforming for precise microfabrication technology

등록 2012.09.26 ⋅ 52회 인용

출처 표면기술, 62권 12호 2011년, 일어 6 쪽

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저자

Tasashi HATTORI¹⁾

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자료요약

카테고리 : 일반자료통합 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.08.18

미세화의 요구와 그 동향에 관하여 설명하고, LIGA 프로세스에 관한 설명 [微細加工技術と将来のめっき技術]

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