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MEMS 기술 개요 및 동향
MEMS technology and trend

등록 2008.09.24 ⋅ 66회 인용

출처 Web, na, 한글 4 쪽

분류 해설

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na1)

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자료요약
카테고리 : 기술자료기타 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2016.04.11
MEMS 란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로 혼용되고 있으며, 번역하연 초소형 시스템이나 기계를 의미한다.

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